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国投创业投资华海清科助力打造半导体化学机械抛光设备领导者
2020.03.30

近日,国投创业管理的国家科技重大专项成果转化基金牵头完成对华海清科股份有限公司的投资,联合投资方包括金浦投资、国开科创、国开装备基金、浙创投、石溪资本、中芯海河赛达、武汉建芯、水木创投等。投资将有效增强企业资本实力,优化股权结构,助力打造中国半导体化学机械抛光设备行业的领导者。

 

 

华海清科成立于2013年,是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略,为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高科技企业。公司主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,是国家科技重大专项集成电路设备专项(02专项)相关课题主要承担单位之一。公司产品广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域,公司12寸CMP设备已通过长江存储、中芯国际等国内优秀半导体制造商的验证和量产交付。

 

 

化学机械抛光(CMP)是集成电路芯片制造中包括镀膜、光刻、刻蚀、离子注入在内的五大核心工艺之一,CMP设备是构造集成电路平坦化及多层互连结构的关键工艺设备。国投创业坚持聚焦国家科技重大专项成果转化,近年来围绕集成电路核心产业链,在芯片设计、制造、封测、材料、设备及零部件各环节开展投资布局,为提升我国集成电路行业自主创新能力积极贡献力量。